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标题: 镀铝时真空不好，原因及怎么检查 [打印本页]

作者: 梦幻之夜 时间: 2013-5-30 08:42
标题: 镀铝时真空不好，原因及怎么检查
请教各位能人：
镀铝时真空不好，扩散泵的有已换过，还是不好。换过扩散泵油后，镀铝时有蓝光，什么原因，怎么检查和处理？

作者: 枫9411200 时间: 2013-7-3 11:00
真空管道检漏，清洁蒸镀室或蒸发围罩，铝灰的吸潮能力极强，深冷系统的温度达不到要求等，都是影响真空的原因。发蓝光是蒸发舟的问题

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