二、 真空知识介绍1

镀铝工作与其他工作的一个不同就是需要在真空下工作，下面简单说说真空基础知识，这方面的内容现在网上比较多见，本人主要2003年时主要收集的是台湾成功大学的资料，与大家分享。

二、
真空知识介绍

蒸发镀铝系统中,最核心的就是真空系统。完整的真空系统包括，真空泵组，真空阀门，真空仪表以及真空腔体。

一、
真空基础知识

1、真空的定义
　真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态

2、真空度
　处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

3、真空常用之单位

由于真空是一种压力状态，因此其单位与压力之单位相同，而压力的定义为每单位面积所承受之力，故其单位为力/面积。以下便是各种力的单位表示

M.K.S. 制为Newton/m2,定义为1 pa=1 N/m2

C.G.S. 制为Dyne/cm2，定义为1 bar=1x106 Dyne/cm2

F.P.S. 制为Pound/in2(PSI)

1 Torr=1/760 atm=1mm Hg

下表乃是一般真空常用单位之换算表

	Torr	Passcal(pa)	Bar	大气压Atm
1 托	1	1.333332x102	1.3332x10-3	1.3158x10-3
1 帕(pa)	7.5006x10-3	1	10.x10-5	9.8692x10-6
1 巴bar	7.5006x102	1.0x105	1	0.98692
1 atm	760	1.0133x105	1.0133	1

　

4、平均自由程 （MFP）
　　作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。λ=6.6/P

5、极限真空
　　真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。

6、抽气速率
　　在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）

7、热偶真空计
　　利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。

8、电离真空计（又收热阴极电离计）
　　由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。

9、复合真空计
　由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。

10、电阻真空计
　　利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。