三、 蒸发镀铝设备1

蒸发镀铝设备

真空镀膜设备一般由五部分组成：1、真空系统；2、蒸发系统；3、卷绕系统；4、操作控制系统，5、冷却及辅助系统。

1、真空系统。为了达到蒸发镀铝需要的真空度，真空泵组一般由三级真空泵组成，第一级是油封机械泵，第二级一般都是罗兹泵，第三级都采用油扩散泵。(也有其他配置)

其工作过程如下：

①首先由机械泵和罗兹泵对真空仓进行预抽真空。这时，扩散泵与真空仓之间的阀门、与罗兹泵间的阀门都是关闭的。

②等真空仓达到粗真空10-2mbar级时，关闭罗兹泵与真空仓间的连接阀，打开与扩散泵间的阀门，打开扩散泵与真空仓的阀门，由扩散泵继续对真空仓抽真空，达到10-4mbar级。

另外有些镀膜机，特别是镀含水量较大的材料时，为了达到更有效的抽真空，在真空室内附加有冷却水蒸汽的冷凝盘管。其原理是，通过给冷凝盘通入-150℃的冷媒吸附凝结真空室中的水蒸汽，降低水蒸汽的分压，提高真空度。

2、蒸发系统。

蒸发系统是镀铝主要工作部位。由蒸发舟，铝丝进给装置，蒸发舟电源供应，对蒸发舟电极的冷却系统以及蒸发挡板组成。

其工作过程如下：

①在真空度达到要求后，由变压器对夹在铜制电极之间的蒸发舟通电，由于蒸发舟有电阻，将在蒸发舟处产生高温。为了保护电极头，对电极头要通入冷却水来降温。

②采用步进电机的铝丝盘源源不断的将铝丝送到蒸发舟上熔化蒸发，当蒸发挡板打开时，在蒸发舟上方的基材上凝结。

(还有一种坩埚加热方式,预先加装足够铝块)

3、卷绕系统。

良好的卷绕系统是镀膜质量的保证。对于处理塑料薄膜来说，卷绕系统必须十分精确。众所周知，塑料薄膜具有很多机械性能和耐热性，要求该系统对于每种给定的材料，在理想的张力作用下，特别是在蒸镀室内，保证材料平滑无脱卷地连续运行。

另外对于极度薄或机械强度极低的薄膜，必须考虑系统的动静摩擦力和系统惯性，特别是瞬间的影响。薄膜的运行是靠电机驱动的主要导辊来控制的，主要有：放料轴、收料轴、冷却主鼓、牵引辊等。

牵引辊通常都是经过橡胶处理(现在有软木胶带包覆的辊筒,)的，从而为薄膜的传输提供足够的转矩，其功能是在蒸镀过程中，根据薄膜的种类和工作条件，为薄膜提供所需要的张力，以获得最适宜的薄膜平滑条件，并使薄膜紧贴冷却辊(国产机很少使用,一般只有收放卷及冷辊有动力)；

冷却辊是金属辊，表面镀铬，内部有冷却单元，可以有效的降低薄膜的温度；

展平辊起展平支撑薄膜作用；张力辊通过测压元件进行张力测量；

卷绕装置的控制一般都通过电子系统来实施。通过调节驱动辊的转速可以调节卷绕张力和卷绕速度。

工作过程如下：

材料由放卷轴上被牵引通过展平辊展平后，贴附在冷却主辊上，在冷却主辊处凝结铝蒸汽，均匀的镀上一层铝后，通过展平辊被牵引到收卷轴卷绕。

在这过程当中，因为处于真空中，同时在镀膜时要接受铝蒸汽的冷凝热，所以，整个工作过程，张力不可大。防止基材变形（甚至拉断），卷绕过紧。