二、 真空知识介绍2

11、B－A规
　　这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。

12、油封机械真空泵
　　用油来保持密封的机械真空泵，可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。

13、罗茨真空泵
　　具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。

14、油扩散真空泵
　　扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中扩散，并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。

15、低温真空泵
　　利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。

16、冷阱（水冷挡板）
　　置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。

17、气镇阀
　　油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。

18、真空蒸镀
　　在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。

19、真空系统常用名称
(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。

20、真空度一般可分為：

真空范围	压力范围(Pa)
低真空	105>P>3.3×103
中真空	3.3x103>P>10-1
高真空	10-1>P>10-4
非常高真空	10-4>P>10-7
超高真空	10-7>P>10-10
非常超高真空	10-10>P

这只是电真空专业的一些基本名词汇总,一些基本名词,真空行业基本都能用到,镀膜机上大部分都用到,了解这些应该对真空系统的使用,维护有帮助的