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标题: 二、 真空知识介绍1 [打印本页]
作者: dalu    时间: 2013-8-26 17:29
标题: 二、 真空知识介绍1
镀铝工作与其他工作的一个不同就是需要在真空下工作，下面简单说说真空基础知识，这方面的内容现在网上比较多见，本人主要2003年时主要收集的是台湾成功大学的资料，与大家分享。
二、
真空知识介绍
蒸发镀铝系统中,最核心的就是真空系统。完整的真空系统包括，真空泵组，真空阀门，真空仪表以及真空腔体。
一、
真空基础知识
1、真空的定义
　真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态
2、真空度
　处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空常用之单位
由于真空是一种压力状态，因此其单位与压力之单位相同，而压力的定义为每单位面积所承受之力，故其单位为力/面积。以下便是各种力的单位表示
M.K.S. 制为Newton/m2,定义为1 pa=1 N/m2
C.G.S. 制为Dyne/cm2，定义为1 bar=1x106 Dyne/cm2
F.P.S. 制为Pound/in2(PSI)
1 Torr=1/760 atm=1mm Hg
下表乃是一般真空常用单位之换算表
Torr
Passcal(pa)
Bar
大气压Atm
1 托
1
1.333332x102
1.3332x10-3
1.3158x10-3
1 帕(pa)
7.5006x10-3
1
10.x10-5
9.8692x10-6
1 巴bar
7.5006x102
1.0x105
1
0.98692
1 atm
760
1.0133x105
1.0133
1

　
4、平均自由程 （MFP）
　　作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。λ=6.6/P
5、极限真空
　　真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
6、抽气速率
　　在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）
7、热偶真空计
　　利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
8、电离真空计（又收热阴极电离计）
　　由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
9、复合真空计
　由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
10、电阻真空计
　　利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。




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