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标题: 镀铝薄膜方阻值与镀铝厚度的换算 [打印本页]

作者: Bruce 时间: 2012-3-18 18:36
标题: 镀铝薄膜方阻值与镀铝厚度的换算

OD值、方阻值和铝层厚度对照表

OPITICAL DENSITY/光密度 OD值	RESISTIVITY/电阻值 Ohm/Square 方阻值	AL THICKNESS/铝层厚度 Å 埃
1.6	3	320
1.8	2.7	360
2.0	2.35	400
2.2	2.05	440
2.4	1.8	480
2.6	1.55	520
2.8	1.3	560
3.0	1.0	600

注：1um＝1000纳米＝10000埃

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