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标题: CVD法镀高阻隔膜的合适原料 [打印本页]

作者: 高祥 时间: 2016-1-2 17:37
标题: CVD法镀高阻隔膜的合适原料
本帖最后由高祥于 2016-1-2 17:40 编辑

CVD法镀高阻隔膜的合适原料

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首先，何为CVD镀膜法？
所谓CVD（化学气相沉积），就是对材料气体进行加热，等离子分解，再使其沉积到基材表面的镀膜方法。可形成覆盖性良好的薄膜。
CVD工艺，是将具有蒸汽压力的原材料进行气化，以气体状态供应到反应槽，给予其一定的能量使其进行分解・反应，并在基材的表面沉积形成薄膜。
热力CVD工艺，是通过热源将原料气体进行分解进行成膜的。
比如:对硅烷（SiH4）进行热分解，可形成多结晶硅Si。此时如果在氧气气氛下进行分解的话，可以形成SiO2。
普通的热力CVD，因原料气体的供应因部位的不同而存在多少之分，会有厚度不均匀的情况。
如果使用减压CVD（LPCVD）这一方法，可延长分子的平均自由行程，使得分子更易于扩散，得到提高膜厚均一性的效果。
如果使用高频能量代替高热力能量的话，可实现低温状态下镀膜。
此制备方法被称为PlasmaCVD（等离子CVD）。
电极与基材相对，通过高频放电，将原材料进行分解镀膜。
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PlasmaCVD 镀膜的变化案例
等离子CVD可对各种原料气体・等离子气体相组合使用。
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原料气体种类丰富多彩
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为了使用硅烷必须具有安全系统
Bulk Silane Installation (CGA)
大宗硅烷系统安装(美国压缩气体协会)
为了使用硅烷必须彻底做到安全系统的考量。
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为了使用硅烷必须具备人员防护系统
Personal Protective Equipment (PPE)
个人防护器具
必须有足够的考量用以保护人员。
•General Cylinder Handling 一般钢瓶操作
-safety glasses 安全眼镜
-leather gloves 皮手套
-safety shoes 安全鞋
•System Operations 系统操作
-Faceshield in addition to safety glasses 安全眼镜外加悬挂面罩
-Nomex or equivalent full body protection with hood Nomex 或者同等级的全身带帽防护服
-leather gloves or equivalent flame resistant hand protection 皮手套或同等级防火手部防护
•Emergency Operations 紧急应变操作
-Self Contained Breathing Apparatus 自负式呼吸器具
-Full body Nomex with hood 全身连帽Nomex防护服
-Optional - proximity or entry suit 选用–消防用防火衣
Silane Incidents 硅烷相关事故
•Accidental backflow of Nitrous Oxide into Silane Cylinder – System Design Issue 一氧化二氮意外倒流流入硅烷钢瓶–系统设计问题
•Cylinder Connection Leak Incident, US 2004 – Improper cylinder connection 2004年,美国钢瓶衔接点泄漏事故- 接头不良
•Taiwan, Silane Explosion, Nov. 23, 2005 – Operation Issue 2005 年11 月23日, 台湾硅烷爆炸–操作原因
•Silane Leak & Explosion Changsha, China Aug 17, 2009 –Operation Issue 2009 年8月17日, 中国长沙硅烷泄漏及爆炸–操作因素
•Silane fire in South China, Jul. 20 2011 – System Design Issue 2011 年7月硅烷火灾，中国南方– 系统设计问题
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The Silane Explosion Incident(硅烷爆炸事故)
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The Silane Explosion Incident(硅烷爆炸事故)
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硅烷在日本发生伤亡事故的报道
神钢KOBELCO 的PlasmaCVD 使用安全可靠的HMDSO
HMDSO
HEXAMETHYLDISILOXANE
C6H18OSi2
Vapor pressure 55mmHg(30℃）

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安全，经济，随手可得的HMDSO被应用于神钢KOBELCO 的各大研发，量产PlasmaCVD设备
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优越的原料气体与镀膜工艺结合
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这种优越的原料气体与神钢KOBELCO等离子CVD技术的完美搭配，为大型水汽组隔膜的量产线增加了保障。目前日本的面向OLED，QD的水汽组隔膜制造商都在使用神钢KOBELCO的CVD设备进行产品的制造。

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